Крайне маловероятно, что это царапины. Не может покрытие фильтра (если, конечно, оно с этой стороны вообще есть!) быть таким нежным. Если на салфетке не было никаких инородных тел, то ею так просто не поцарапать. Попробуйте смочит и вновь почистить.
Очень плохо помыл кисточку, были разводы хорошие, взял салфетку, сухую, долго чистил, разводы прошли
а фильтры на стекла вообще приходится часами оттерать :(
(без спец средств)
"Это элементарно, Ватсон!"
Canon EOS 90D, SpeedLite 580EX, EF-S 18-55/4-5.6 IS STM, Sigma 70-200/2.8 APO EX DG OS HSM